多功能性ALD生产平台
在单片或批量晶圆生产中，倍耐克TransformTM能够有效的结合热法和等离子体ALD制成。客户在同一平台上可以实现多设备及多应用的生产流程。
专为Fab设计
倍耐克TransformTM的水平传载片机制符合半导体工业标准，并与生产线的其余工序无缝对接。
经过SEMI认证
倍耐克TransformTM完全满足SECS / GEM及SEMI S2/S8标准。
欲了解更多信息，请访问www.beneq.com/transform
